ターボ分子ポンプの基本構造と中古導入前に知るべき基礎知識高真空機器の理解を深める

ターボ分子ポンプは、研究・分析・半導体分野などで不可欠な高真空を生成する装置です。
精密かつ高価な機器であるため、中古導入を検討する際には仕組みや劣化ポイントを理解しておくことが重要です。
本記事では、ターボ分子ポンプの基本構造と、中古導入前に押さえておきたい基礎知識を分かりやすく解説します。

① ターボ分子ポンプとは？

• 高速回転で気体分子を排気する真空ポンプ：数万〜10万rpmで回転する精密機器。
• 高真空を必要とする装置に必須：分析装置、電子顕微鏡、半導体工程などで使用。
• クリーンな排気が可能：油拡散ポンプと違い油蒸気がほぼ発生しない。
• メンテ性が重要：ベアリング劣化や内部汚れの状態が性能に直結。
• 新品は高額：予算面から中古が選ばれるケースが増加。

② ターボ分子ポンプの基本構造

• ローター（羽根車）：高速回転し、分子を押し出す役割。
• ステーター：ローターと組み合わせて排気効率を高める固定翼。
• ベアリング：ローターを支える重要パーツ。劣化すると振動や異音が発生。
• モーター：ローターを超高速で回転させる駆動源。
• コントローラー：回転数制御・安全停止・異常検知を行う制御装置。
• 冷却機構：空冷・水冷など、温度管理により寿命が変わる。

③ 中古導入前に知るべきポイント

• ベアリングの状態確認：交換歴・異音の有無は要チェック。
• 動作試験の有無：実際に回転して正常値に達するか確認。
• コントローラー互換性：型番・メーカー一致が必須。
• アワーメーターの確認：運転時間が短いほど安心。
• 使用環境の把握：薬品・腐食環境で使用された個体は劣化が早い。
• 排気速度と到達圧のスペック確認：目的装置に合わせた性能が必要。

④ よくある劣化箇所と注意点

• ベアリング劣化：最も多い不具合。異音・振動の原因。
• ローターの傷や汚れ：性能低下やバランス崩れにつながる。
• 内部の腐食や付着物：薬品系装置で使用されていた個体は注意。
• コントローラー異常：互換性不足・基板劣化が問題に。
• 冷却系トラブル：冷却不足は高温による深刻な故障を招く。

⑤ 基本構造と注意点の比較表

⑥ まとめ：基礎理解が中古導入成功の鍵

ターボ分子ポンプは構造が非常に精密なため、中古導入時には内部構造の理解が重要です。
特にベアリング状態、ローターの損傷、コントローラー互換性などを事前に確認することで、トラブルを大幅に防ぐことができます。
基本構造と劣化ポイントを理解して選べば、中古でも高性能で信頼できる運用が可能です。

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