ターボ分子ポンプの寿命を左右する最大要因が「ベアリング」です。
特に中古品では、ベアリングの状態が性能・耐久性・運転安定性に直結します。
本記事では、油潤滑式・磁気軸受式のベアリング寿命、中古品の耐用年数の考え方、劣化チェックのポイントを詳しく解説します。
| 項目 | 油潤滑式ベアリング | 磁気軸受式ベアリング |
|---|---|---|
| 寿命の目安 | 5,000〜20,000時間 | 40,000〜100,000時間以上 |
| メンテ頻度 | 高い(油交換・ベアリング交換) | 非常に低い |
| 劣化の兆候 | 異音・振動・回転上昇の遅れ | 制御エラー・起動不可など |
| 中古の信頼性 | 整備状況により個体差大 | 比較的安定して高い |
| 修理コスト | 比較的低い | 制御系故障は高額になりやすい |
ターボ分子ポンプの寿命を決めるベアリングは、中古導入時に必ず確認すべき最重要ポイントです。
油潤滑式は経年劣化しやすくメンテが必須ですが、整備済みなら高コスパで導入できます。
一方、磁気軸受式は長寿命・静音・安定性に優れ、中古でも良い状態の個体が多い傾向です。
アワーメーター・異音・回転テスト・整備歴を確認し、寿命を見極めて選ぶことで、長期間安定した真空環境を構築できます。
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