ターボ分子ポンプは高価で精密な機器のため、中古購入時には細かな確認が必須です。
状態・互換性・劣化ポイントを見誤ると、購入後に不具合が発生し、高額な修理費につながる可能性があります。
本記事では、中古ターボ分子ポンプを購入する際に絶対に確認すべきチェック項目を一覧化しました。
| 項目 | チェック内容 | 注意点 |
|---|---|---|
| 外観 | 傷・腐食・フランジ歪み | 落下歴の可能性あり |
| 回転系 | 異音・振動・回転上昇速度 | ベアリング劣化の判断材料 |
| コントローラー | 型番・互換性・エラー確認 | 制御系故障は高額修理 |
| 排気性能 | 排気速度・到達圧・回転安定性 | 内部汚れや故障で低下 |
| 冷却系 | 空冷ファン・水冷ライン | 冷却不良は重大故障の原因 |
中古ターボ分子ポンプの購入では、外観・回転系・ベアリング・コントローラー・排気性能など、多くのチェック項目があります。
特に内部摩耗や制御系トラブルは購入後に発覚しやすく、事前確認が非常に重要です。
各項目をしっかりチェックし、可能であれば動作確認済み・整備済みの個体を選ぶことで、安心して高真空環境を運用できます。
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