ターボ分子ポンプは高速回転で作動するため、起動不良や加速異常が発生すると真空引きができないだけでなく、内部の損傷にもつながります。
特に中古品では、ベアリング劣化・コントローラー不良・内部汚れなどが原因でトラブルが発生しやすく、適切な対策が必要です。
本記事では、起動しない・回転が上がらない・途中停止するなどの代表的な不良原因と、その対策方法を詳しく解説します。
| 不良原因 | 発生状況 | 対策 |
|---|---|---|
| ベアリング劣化 | 異音・加速遅延 | ベアリング交換・整備 |
| 内部汚れ・コンタミ | バランス不良で途中停止 | 内部洗浄・ローター清掃 |
| コントローラー故障 | 起動不能・エラー表示 | 交換・修理・互換性確認 |
| ケーブル接触不良 | 起動しない・加速しない | 配線点検・断線修理 |
| 冷却不良 | 途中停止・温度上昇 | 空冷/水冷の清掃・流量確保 |
中古ターボ分子ポンプの起動不良や加速異常は、内部劣化・汚れ・制御系故障など複数の要因が重なって起こります。
事前に状態チェックを行い、ベアリング・内部清掃・コントローラー・ケーブル・冷却状態を確認することで、多くのトラブルを防ぐことができます。
整備済み・動作確認済みの個体を選ぶことで、中古でも新品同様の性能を維持しながら安定運転が可能です。
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