ターボ分子ポンプは高速回転(数万〜数十万 rpm)で動作するため、わずかな異常でも振動や異音として現れます。
特に中古ターボ分子ポンプでは、ベアリング摩耗やローターのバランス不良などが原因でトラブルが起こりやすく、早期発見が重要です。
本記事では、振動・異音トラブルの兆候と見分け方、対策方法をわかりやすく解説します。
| 症状 | 主な原因 | 対策 |
|---|---|---|
| ガラガラ音 | ベアリング摩耗 | ベアリング交換・整備 |
| 高周波の甲高い音 | ローター偏心・摩擦増大 | バランス調整・オーバーホール |
| 共鳴音 | 設置面の不安定 | 固定・設置面の再調整 |
| 加速時の異音 | 立ち上がり制御異常 | コントローラの設定確認 |
| 強い振動 | 内部部品の損傷 | 直ちに停止し整備・交換 |
中古ターボ分子ポンプの振動・異音は、ベアリング摩耗・ローター偏心・冷却不良など、重大故障の前兆である場合が多く、早期対応が不可欠です。
異音の種類や振動の強さから原因を特定し、必要に応じて整備・オーバーホールを行うことで、故障リスクを大幅に低減できます。
特に中古ポンプは使用歴が不明な場合も多いため、導入前に動作確認済みの個体を選ぶことが長寿命化のポイントです。
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