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中古ターボ分子ポンプの冷却方法(空冷・水冷)の違いと注意点

中古ターボ分子ポンプの冷却方法（空冷・水冷）の違いと注意点冷却方式で寿命と性能が変わる

ターボ分子ポンプは高速回転によって熱を発生するため、適切な冷却が不可欠です。
冷却方式には主に「空冷」と「水冷」があり、中古ターボ分子ポンプを導入する際には選定上の注意点が多数あります。
本記事では、空冷・水冷の違いと、中古購入時に気をつけたいチェックポイントを解説します。

① 空冷・水冷の基本的な違い

  • 空冷：ファンで空気を循環させて冷却する方式。
  • 水冷：冷却水を循環させて効率的に熱を排出する方式。
  • 熱容量の違い：水冷は高負荷運転に強く、安定性が高い。
  • 設置環境の制約：空冷は簡易、⽔冷は配管設備が必要。
  • 中古市場の傾向：水冷式はメンテ状況で個体差が大きい。

② 空冷ターボポンプの特徴と注意点

  • 特徴：取り扱いが容易、導入コストが低い。
  • メリット：追加設備不要で設置が簡単。
  • デメリット：高負荷運転に弱く、温度上昇しやすい。
  • 中古での注意点：ファン異音・軸受摩耗・埃詰まりが多い。
  • 適した用途：SEM・分析装置など比較的負荷が軽い装置。

③ 水冷ターボポンプの特徴と注意点

  • 特徴：冷却効率が非常に高く、高負荷運転に最適。
  • メリット：長時間運転でも熱安定性に優れる。
  • デメリット：水冷設備・配管・チラーが必要。
  • 中古での注意点：水漏れ跡・腐食・冷却ジャケット詰まりに注意。
  • 適した用途：半導体製造装置・エッチング工程など高負荷環境。

④ 冷却方式の選び方（用途・環境別）

  • 負荷の軽い分析装置：空冷で十分性能を満たすことが多い。
  • 熱負荷の高いプロセス装置：水冷が必須となる場合が多い。
  • 設置スペースが限られる環境：空冷が適する。
  • 長時間連続運転：温度安定性の高い水冷が有利。
  • 中古選定時：使用歴・冷却系統の状態を必ず確認する。

⑤ 冷却方式の違いを比較した早見表

項目 空冷 水冷
冷却性能 中程度 高い
導入のしやすさ 非常に簡単 設備が必要
中古リスク ファン劣化・埃詰まり 水漏れ・腐食・配管詰まり
適した用途 分析装置・軽負荷装置 半導体製造・高負荷工程
長時間運転 苦手 得意

⑥ まとめ：冷却方式の理解が中古導入成功の鍵

中古ターボ分子ポンプでは、空冷・水冷の違いを理解し、使用環境に合った冷却方式を選ぶことが重要です。
空冷は扱いやすい反面、高負荷環境では温度上昇のリスクがあり、水冷は高い冷却性能を持つ一方、設備や腐食リスクが伴います。
冷却方式の特性と中古品の状態チェックを徹底することで、安定稼働と長寿命化が期待できます。

よくある質問（FAQ）

分析装置には空冷と水冷どちらが良いですか？
多くの場合、負荷の小さい分析装置では空冷で十分です。
中古の水冷ポンプは腐食が心配です。大丈夫ですか？
水漏れ跡・内部腐食の確認は必須ですが、整備済み品なら問題ありません。
冷却方式を変更することはできますか？
基本的には不可で、空冷・水冷はモデルごとの設計に依存します。

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よくあるご質問FAQ

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会社概要

会社名
株式会社パシオリユース
本社
本社営業部
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〒270-2214
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TEL：047-701-5003（代表）
FAX：047-701-5977
大阪営業本部
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宮城県仙台市若林区沖野6-24-1
TEL：022-794-8840
設立
2012年9月
資本金
1,000万円
役員
代表取締役社長　西村 博行
取締役　山本 雄一郎
取締役　遠藤 徹
従業員数
30名
許認可
古物商許可証 第441070002381号 /
千葉県公安委員会

本社・各営業所

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〒270-2214 千葉県松戸市松飛台229
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FAX
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担当者
西村 博行

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072-650-3415
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072-650-3416
担当者
遠藤 徹

九州営業所

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