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ターボ分子ポンプの回転子バランス不良と中古品での注意点

ターボ分子ポンプの回転子バランス不良と中古品での注意点高回転機構ゆえの重要トラブル要因

ターボ分子ポンプは数万〜数十万rpmという超高速で回転するため、回転子（ローター）のわずかなバランス不良でも異音・振動・性能低下を引き起こします。
特に中古ターボポンプでは、前使用環境による摩耗・汚れ・微細な変形が蓄積しており、バランス不良のリスクが高くなる傾向があります。
本記事では、回転子バランス不良の原因と、中古品導入時に注意すべきポイントを詳しく解説します。

① 回転子バランス不良とは？

  • ローターの重量分布の偏り：振動が増大し安定回転が困難に。
  • 高速回転で増幅：数万rpmでわずかな偏りも重大な不具合へ。
  • 中古品で発生しやすい：長期使用や堆積汚れでバランスが崩れる。
  • 異音・振動の主要因：ベアリングに負荷が加わり寿命が短くなる。
  • 性能低下に直結：排気速度や到達圧に影響。

② バランス不良が発生する主な原因

  • 羽根（ブレード）への堆積物：付着汚れで重量バランスが崩れる。
  • 過去の衝撃・落下：ローターの微変形を引き起こす。
  • ベアリング摩耗：支持点が不安定になり振動が増加。
  • 腐食や粉塵の固着：腐食性ガスの残留で表面が荒れる。
  • 長期高負荷運転：回転子に疲労が蓄積し偏心の原因に。

③ バランス不良が引き起こす影響

  • 異音の発生：高速回転で共振し音が大きくなる。
  • 振動増加：装置全体に振動が伝わり測定精度に影響。
  • ベアリング寿命の低下：負荷が集中し早期故障につながる。
  • 加速異常：規定回転数に到達しない場合も。
  • 真空性能の低下：排気速度や到達圧が悪化する。

④ 中古ターボポンプで注意すべきポイント

  • 異音チェック：「ヒューン」という正常音以外は要注意。
  • 振動の有無：手触り・測定で微振動も確認する。
  • 加速時間の確認：遅い場合は内部抵抗増大の可能性。
  • 内部清掃履歴：堆積物が残っているとバランス不良の原因に。
  • 整備・バランス取り済みの個体を選ぶ：中古選定で最も重要。

⑤ 原因と対策の比較表

原因 発生状況 対策
羽根への堆積物 腐食性ガス・粉塵で付着 内部清掃・コンタミ除去
衝撃による変形 落下・輸送時のダメージ 外観確認・動作チェック
ベアリング摩耗 長期使用で発生しやすい ベアリング交換・整備
腐食・固着 プロセスガス残留が原因 耐腐食モデル選定・清掃
高負荷運転 長期高回転で疲労蓄積 運転条件の見直し

⑥ まとめ：高回転機構はバランスが命

ターボ分子ポンプは極めて高速で回転するため、わずかなバランス不良でも重大な性能低下を招きます。
中古品では使用歴に応じてバランス不良が発生しやすく、異音・振動・加速不良などの症状が現れた場合は注意が必要です。
整備済み・バランス取り済みの個体を選び、導入前に動作確認を行うことで、中古でも安心して使用できる高性能ポンプを確保できます。

よくある質問（FAQ）

中古でもバランス不良は改善できますか？
専門業者によるバランス調整で改善可能な場合があります。
異音の判断基準はありますか？
高周波の「ヒューン」という滑らかな音が正常で、ガタつき音・ウーン音は異常の兆候です。
バランス不良はどこで見抜けますか？
加速時間、振動、異音など複数の項目を総合的にチェックします。

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会社概要

会社名
株式会社パシオリユース
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大阪営業本部
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仙台倉庫
〒984-0831
宮城県仙台市若林区沖野6-24-1
TEL：022-794-8840
設立
2012年9月
資本金
1,000万円
役員
代表取締役社長　西村 博行
取締役　山本 雄一郎
取締役　遠藤 徹
従業員数
30名
許認可
古物商許可証 第441070002381号 /
千葉県公安委員会

本社・各営業所

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072-650-3415
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072-650-3416
担当者
遠藤 徹

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