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クリーンルームで使用する中古ターボ分子ポンプの選定ポイント

クリーンルームで使用する中古ターボ分子ポンプの選定ポイント清浄度と信頼性を両立させるために

クリーンルーム環境では、ターボ分子ポンプの発塵・振動・汚染リスクが厳しく管理されるため、中古品を導入する際には新品以上に慎重な選定が必要です。
特に前使用環境や内部コンタミの有無はクリーンルーム適性に直結し、研究用途・半導体プロセスにおいて大きな影響を及ぼします。
本記事では、クリーンルームで中古ターボ分子ポンプを安全に使用するための選定ポイントを詳しく解説します。

① クリーンルーム運用に求められる基準

  • 発塵の極小化：外部放出粉塵がゼロに近いことが理想。
  • 振動管理：振動が装置や測定精度に影響しない構造。
  • ガスの清浄度：内部汚染がチャンバーへ逆流しないこと。
  • 安定した排気性能：微細加工・分析の再現性に直結。
  • メンテナンス性：清掃履歴・整備情報が明確であること。

② 中古ポンプ選定で特に重要なポイント

  • 整備履歴の確認：オーバーホール済み・清掃済みであること。
  • 回転子の清浄度：堆積物がある個体はクリーンルーム適性が低い。
  • 磁気軸受モデルが有利：接触摩耗が少なく発塵が最小。
  • 外観・フィンの状態：微細な粉塵付着もチェック対象。
  • 前使用環境：腐食ガス使用装置からの中古は要注意。

③ 内部コンタミの影響と確認ポイント

  • コンタミが多いと：発塵・腐食・回転不良の原因になる。
  • 内部清掃済みか確認：クリーニング証明書があると安心。
  • 到達圧の実測値：性能低下が内部汚染の指標になる。
  • 加速時間：遅い場合は内部抵抗が増加している可能性。
  • ガスラインの状況：腐食ガスの使用歴はリスクが高い。

④ 冷却方式と発塵リスクの関係

  • 空冷モデル：外気流入によりクリーンルームでは不利。
  • 水冷モデル：発塵が少なくクリーンルーム適性が高い。
  • 冷却不足は発塵を増加：温度上昇で内部摩耗が進む。
  • 冷却配管の状態確認：水漏れの有無も重要。
  • フィンの汚れ：外部に粉塵を飛散させる可能性あり。

⑤ クリーンルーム適性評価の比較表

項目 適性評価 確認ポイント
内部清浄度 最重要 クリーニング済み・コンタミの有無
軸受方式 高 磁気軸受モデルが望ましい
冷却方式 中〜高 水冷が高評価、空冷は要環境確認
外観状態 中 粉塵付着・腐食の有無
使用履歴 中〜高 腐食ガスを扱った装置は注意

⑥ まとめ：清浄度と安定稼働の両方を満たすために

クリーンルームでターボ分子ポンプを使用する場合、清浄度・振動・冷却性能などの評価基準は通常より一段厳しくなります。
中古品でも、内部清掃済み・整備履歴が明確・磁気軸受モデルなどの条件を満たせば、高い信頼性をもって運用が可能です。
適切な選定と確認を行い、安全で安定したクリーンルーム環境を維持しましょう。

よくある質問（FAQ）

中古でもクリーンルームで使用できますか？
清掃・整備済みで内部汚染がない個体であれば問題なく使用可能です。
空冷モデルでもクリーンルームで使えますか？
環境によっては可能ですが、発塵リスクがあるため水冷モデルが推奨されます。
選定で最も重要なポイントは何ですか？
内部清浄度（コンタミの有無）と前使用環境の確認が最重要です。

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会社概要

会社名
株式会社パシオリユース
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FAX：047-701-5977
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TEL：022-794-8840
設立
2012年9月
資本金
1,000万円
役員
代表取締役社長　西村 博行
取締役　山本 雄一郎
取締役　遠藤 徹
従業員数
30名
許認可
古物商許可証 第441070002381号 /
千葉県公安委員会

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遠藤 徹

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