真空装置で使用される「ターボ分子ポンプ」と「クライオポンプ」は、いずれも高真空を実現する重要な排気機構です。
中古市場でも多く流通しており、用途に応じて選択することで大幅なコスト削減が可能です。
本記事では、ターボポンプとクライオポンプの特徴を比較し、中古導入時のメリット・注意点を分かりやすく解説します。
| 項目 | ターボ分子ポンプ | クライオポンプ |
|---|---|---|
| 排気方式 | 高速回転羽根 | 低温吸着(冷凍機) |
| 真空到達度 | 10⁻⁶〜10⁻⁷ Pa | 10⁻⁸ Pa〜超高真空 |
| メンテナンス | 比較的容易 | 冷凍機整備が必須 |
| 中古の流通量 | 非常に多い | やや少ない |
| コスト | 中古は安価 | 中古でも比較的高価 |
| 適した用途 | 分析・研究・汎用真空 | 半導体・プロセス・超高真空 |
ターボ分子ポンプとクライオポンプは、それぞれ異なる強みがあり、中古市場でも用途に応じて賢く選ぶことで大きなコストメリットが得られます。
ターボは汎用性と扱いやすさ、クライオは超高真空性能と大量排気が強みです。
中古導入では、各ポンプの特性と整備状態を正しく確認し、目的に適したモデルを選択することが成功の鍵となります。
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